気流可視化装置

クリーンルーム及びクリーン機器の気流を清浄空気で可視化します。HEPAフィルターで濾過した清浄空気と純水(別売)のミストにより、クリーンルーム内を汚染することなく気流状態を可視化します。ULPAフィルター(別売)に交換することにより、ISOクラス4(クラス10)の気流も見ることができます。