マスフローコントローラ FCS-T1000Z MGMRモデル N2(窒素)
MGMR(マルチガス・マルチレンジ)機能
耐食ハステロイセンサ搭載
高流量精度
- 用途
- マスフローコントローラは質量流量(Mass Flow)制御機器です。従来より、流体の流量計測・制御では「体積流量計」が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計(Mass Flow)」が用いられています。
- 仕様
- 最大動作圧力(KPaG)：400
- ガスの種類
- N2(窒素)
- 通信方式
- (VDC)アナログ：0～5
- 応答時間(秒)
- ≦1
- 使用推奨温度範囲(℃)
- 5～50
- 材質(Oリング)
- FKM
- 流量精度
- (%・F.S)(2-25%)±0.25、(%・S.P)(25-100%)±1
- RoHS指令(10物質対応)
- 対応
- 継手
- 1/4F900
- 供給電圧(V)
- (DC)±15
- 適合バルブタイプ
- NC
- 内容量
- 1個
注意
※流量制度は、±1% S.P. (25-100%)、±0.25% F.S. (2-25%)です。圧力・流量測定 の新着商品
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